在食品工厂净化车间内产品生产过程中生产设备的尘粒污染是不可忽视的,据资料介绍,在大规模集成电路生产过程中生产设备的发尘量要占总微粒污染量的30%左右,可见其影响之大。污染的类型,除了影响制作微细图形的微尘污染外,还有可使器件特性恶化的钠、钾等碱金属和铜、铁等重金属分子或分子级污染。
所谓净化车间生产设备的污染,虽然有的是生产工艺固有的污染,但是还有源设备制作材料、生产过程的原辅材料(包括反应气体、输送气体、吹扫气体和清洗用纯水等),工器具使用不当和机械运动及其润滑剂等的各类污染。还有在产品生产过程中由于操作失误也会造成不应有污染。
从各种食品工厂净化车间内产品生产的实践表明,加强食品工厂洁净室内产品生产过程中生产工艺和设备的管理,确是降低室内污染程度提高产品质量的重要措施。要十分认真细致地观察洁净室内的生产设备在运转过程中可能发尘的情况,特别是运输装置、运动部件、机械手等可能成为污染源;还有各类泵、风机等的电动机内部轴承之间摩擦的发尘情况等,并针对这些污染源的情况制订相应的管理措施和必要的对策。